無油干式渦旋真空泵的檢查與維護有以下幾個方面
1. 無油渦旋真空泵為防止碎屑在泵中沉積，每天抽大氣幾次，每次3～5秒。
2. 要注意高溫，在泵足夠冷卻后，再進行檢查與維護。停泵后立即維修可能引起燒傷。
3. 檢查與維護之前一定要切斷電源。否則可能引起電擊或被旋轉物傷害。
4. 如果安裝與工作條件差、工作環境溫度超過規定，請縮短維護間隔。環境溫度是泵失效的主要影響因素。標準維護間隔是以環境溫度5～45℃，年平均溫度25℃為基礎制定的。
5. 檢查與維護內容要點
| 部件 | 檢查點與注意點 | 檢查時間間隔 |
| 軸承 | 異常噪音（聽） | 每天檢查 |
| 更換軸承 | 8000小時 | |
| 密封件如密封墊、 O 型圈 | 更換密封件 | 8000 小時 |
1. 故障診斷與排除
幾年來用戶在無油渦旋真空泵的使用過程中，陸續發現了各種問題，也總結了問題解決的方法。歸納起來，不外乎下述各種。如果出現故障，可以參照下表排除之。如果自己不能解決問題，可以聯系我們廠方或者當地經銷商。同時筆者歡迎用戶提出使用中的問題，以利于無油渦旋真空泵的進一步改進。
毫無疑問價格適中、性能可靠的無油干式渦旋真空泵將成為適合中國市場要求產品的主流,大力發展渦旋無油真空泵勢在必行。研制符合中國市場要求的渦旋類及其它無油真空泵系列產品及其檢測技術手段也成為中國真空獲得行業進一步發展的一個契機。
無油渦旋真空泵故障診斷表
| 現象 | 原因 | 解決方案 |
| 泵停轉 | 開關異常 | 檢修 |
| 邊線松脫、短線 | 檢修 | |
| 電壓下降 | 檢查電纜長度和尺寸 | |
| 電機異常 | 檢修 | |
| 泵異常 | 檢修 | |
| 極限真空度上不去 | 法蘭口被刮傷 | 與當地經銷商聯系修理 |
| 管路被堵 | 加熱除氣或更換管路 | |
| 管路漏氣 | 檢查管路連緊 | |
| 抽入水或者溶劑 | 將進氣口通大氣抽幾分鐘，然后關閉進氣口抽約 24 小時 | |
| O 型圈破損 | 更換 | |
| 氣鎮閥堵賽 | 清洗氣體過濾器或更換之 | |
| 異常噪聲、振動 | 連接件松脫 | 緊定連接 |
| 泵未放平 | 調平基礎 | |
| 異物進入泵中 | 檢修 | |
| 排氣閥失效 | 檢修 | |
| 電機失效 | 檢修 | |
| 軸承損壞 | 與廠方或者當地經銷商聯系換軸承 | |
| 抽氣口被堵 | 與廠方或者當地經銷商聯系修理 |
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